Micro-Epsilon offre la plus vaste gamme de capteurs de déplacement, de capteurs de température infrarouge, de capteurs de couleur ainsi que des appareils et systèmes de mesure de haute précision pour les applications industrielles. Que cela concerne la recherche et le développement, l'automatisation de la fabrication ou la construction mécanique - nos solutions répondront aux exigences spécifiques de votre tâche de mesure individuelle.
Interferomètre
Avantages clés des interféromètres à lumière blanche :
- Mesure de distance précise au nanomètre
- Mesure fiable d'épaisseur à partir de 1 µm, peu importe la distance
- Mesure multi-pics et multicouche avec résolution < 30 pm (IMS5600)
- Signal stable grâce à de nouveaux algorithmes et compensation thermique
- Grande base d'écartement
- Capteurs robustes, compatibles avec le vide, faciles à utiliser et à adapter sur site.
Interferomètre
à lumière blanche
interferoMETER 5400-TH
interfero METER 5400-DS
interferoMETER 5420
interferoMETER 5600-DS
interfero METER 5400-DS
La mesure de distance nanométrique est une avancée majeure en métrologie industrielle. L’interféromètre IMS5400-DS permet des mesures précises sur de longues distances, facilitant calibration et diagnostic. Son contrôleur intelligent simplifie l’utilisation tout en assurant une grande précision. Cette technologie offre des mesures absolues avec résolution nanométrique sur de grandes distances, ouvrant de nouvelles possibilités en recherche, fabrication de haute précision et contrôle qualité dans l'industrie.
interferoMETER 5600-DS
L’interféromètre IMS5600-DS mesure la distance avec haute précision, idéal pour salles blanches et vide. Son contrôleur permet des mesures absolues subnanométriques, parfaites pour composants électroniques avancés. Micro-Epsilon propose aussi des capteurs et câbles adaptés au vide, sans particules. La mesure absolue offre une grande plage et fiabilité, même sur objets en mouvement. Il peut mesurer jusqu’à 14 distances sur des objets transparents, comme du verre, et calculer l’épaisseur si besoin.
interferoMETER 5400-TH
Mesure fiable de l’épaisseur à distance
L’IMS5400-TH mesure l’épaisseur avec grande précision, même à distance. Convient pour couches minces, verre ou feuilles.
Fonctionnant dans le proche infrarouge, il peut mesurer des matériaux comme le verre anti-reflet.
Mesures stables même en mouvement
L’IMS5400-TH ne dépend pas de la distance. Même si l’objet bouge ou vibre, la mesure reste précise, jusqu’à quelques nanomètres.
interferoMETER 5420
Mesure en ligne précise de l’épaisseur des wafers. L’IMS5420-TH mesure avec précision wafers de silicium et carbure, dopés ou non, via une source infrarouge large bande.
Il mesure jusqu’à 1,05 mm d’épaisseur et 4 mm d’air, avec une stabilité excellente, à 24 mm de distance, idéal pour la ligne de production.
Disponible en versions simple ou multi-couches, il peut mesurer jusqu’à cinq couches. Une version IP67 en acier inoxydable est aussi disponible pour les environnements difficiles.
micro epsilon
LILA
Created on January 26, 2026
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Micro-Epsilon offre la plus vaste gamme de capteurs de déplacement, de capteurs de température infrarouge, de capteurs de couleur ainsi que des appareils et systèmes de mesure de haute précision pour les applications industrielles. Que cela concerne la recherche et le développement, l'automatisation de la fabrication ou la construction mécanique - nos solutions répondront aux exigences spécifiques de votre tâche de mesure individuelle.
Interferomètre
Avantages clés des interféromètres à lumière blanche :
Interferomètre
à lumière blanche
interferoMETER 5400-TH
interfero METER 5400-DS
interferoMETER 5420
interferoMETER 5600-DS
interfero METER 5400-DS
La mesure de distance nanométrique est une avancée majeure en métrologie industrielle. L’interféromètre IMS5400-DS permet des mesures précises sur de longues distances, facilitant calibration et diagnostic. Son contrôleur intelligent simplifie l’utilisation tout en assurant une grande précision. Cette technologie offre des mesures absolues avec résolution nanométrique sur de grandes distances, ouvrant de nouvelles possibilités en recherche, fabrication de haute précision et contrôle qualité dans l'industrie.
interferoMETER 5600-DS
L’interféromètre IMS5600-DS mesure la distance avec haute précision, idéal pour salles blanches et vide. Son contrôleur permet des mesures absolues subnanométriques, parfaites pour composants électroniques avancés. Micro-Epsilon propose aussi des capteurs et câbles adaptés au vide, sans particules. La mesure absolue offre une grande plage et fiabilité, même sur objets en mouvement. Il peut mesurer jusqu’à 14 distances sur des objets transparents, comme du verre, et calculer l’épaisseur si besoin.
interferoMETER 5400-TH
Mesure fiable de l’épaisseur à distance L’IMS5400-TH mesure l’épaisseur avec grande précision, même à distance. Convient pour couches minces, verre ou feuilles. Fonctionnant dans le proche infrarouge, il peut mesurer des matériaux comme le verre anti-reflet. Mesures stables même en mouvement L’IMS5400-TH ne dépend pas de la distance. Même si l’objet bouge ou vibre, la mesure reste précise, jusqu’à quelques nanomètres.
interferoMETER 5420
Mesure en ligne précise de l’épaisseur des wafers. L’IMS5420-TH mesure avec précision wafers de silicium et carbure, dopés ou non, via une source infrarouge large bande. Il mesure jusqu’à 1,05 mm d’épaisseur et 4 mm d’air, avec une stabilité excellente, à 24 mm de distance, idéal pour la ligne de production. Disponible en versions simple ou multi-couches, il peut mesurer jusqu’à cinq couches. Une version IP67 en acier inoxydable est aussi disponible pour les environnements difficiles.