Pour chaque atelier, trouve quel est le mode majoritaire de passage des lots dans les equipements
Pour chaque atelier, trouve quel est le mode majoritaire de passage des lots dans les equipements
Quel est le mode de passage majoritaire ?
La litho préfère avoir des trains de lots.Cela permet de limiter les changements de masks dans le scanner et ainsi d'augmenter le throughput.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
L'implantation privilégie les trains de lots de même dopant et si possible de même recette.Cela minimise les temps de setup et les reprises de faisceau.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Le diélectrique préfère passer des trains de lots de même recette.Cela permet de limiter les cleans entre recette. L'atelier cherche aussi à limiter les effets de l'idle sur le process.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Le Metal préfère passer des trains de lots de même recette.Cela permet de limiter les cleans entre recette. Attention aussi au effet de l'idle !
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Le TT possède de nombreux équipements qui nécessitent de batcher (50 ou100 wfs).Il y a aussi des machines en single wafer, les RTPs (Rapid thermal Process).
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Il y a des machines qui batchent (WFC, WZETA).Toutefois, il y a aussi beaucoup d'équipements en single wafer (WSU et scrubber).
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Les machines de l'atelier fonctionnent en single wafer.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Les machines de l'atelier fonctionnent en single wafer.
Batch Train Single
Geoffroy ANDRE
Created on January 17, 2024
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Transcript
Train
Batch
Single
Pour chaque atelier, trouve quel est le mode majoritaire de passage des lots dans les equipements
Pour chaque atelier, trouve quel est le mode majoritaire de passage des lots dans les equipements
Quel est le mode de passage majoritaire ?
La litho préfère avoir des trains de lots.Cela permet de limiter les changements de masks dans le scanner et ainsi d'augmenter le throughput.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
L'implantation privilégie les trains de lots de même dopant et si possible de même recette.Cela minimise les temps de setup et les reprises de faisceau.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Le diélectrique préfère passer des trains de lots de même recette.Cela permet de limiter les cleans entre recette. L'atelier cherche aussi à limiter les effets de l'idle sur le process.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Le Metal préfère passer des trains de lots de même recette.Cela permet de limiter les cleans entre recette. Attention aussi au effet de l'idle !
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Le TT possède de nombreux équipements qui nécessitent de batcher (50 ou100 wfs).Il y a aussi des machines en single wafer, les RTPs (Rapid thermal Process).
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Il y a des machines qui batchent (WFC, WZETA).Toutefois, il y a aussi beaucoup d'équipements en single wafer (WSU et scrubber).
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Les machines de l'atelier fonctionnent en single wafer.
Quel est le mode de passage majoritaire ?
Les machines de l'atelier fonctionnent en single wafer.
Passage en single wafer
Ce n'est pas le mode de préférence
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Passage en batch
Ce n'est pas le mode de préférence
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Passage en train
Ce n'est pas le mode de préférence
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